• Meiden純臭氧發(fā)生器

    北京同林超純臭氧設備服務(wù)商

    超純臭氧選購服務(wù)熱線(xiàn):010-82461830

    Meiden純臭氧發(fā)生器 · 核心競爭力重品質(zhì)重體驗,讓臭氧更純、更安全

    安全設計

    緊急情況下的防爆設計更安全

    信賴(lài)性

    緊急吹掃機制與緊急停止開(kāi)關(guān)更可靠

    標準認證

    符合國際安全標準SEMI-S2、UL、NFPA、CE

    品質(zhì)保證

    跟蹤測試證實(shí)氣體泄漏的安全性 第三方認證機構

    OER*工藝技術(shù)

    使OH自由基的產(chǎn)生量更大化明電舍獨自研發(fā)

    產(chǎn)品中心保持高純度、安全性、連續性

    • 超純臭氧發(fā)生器

    Meiden超純臭氧發(fā)生器可以持續供給100%濃度臭氧

    010-82461830 立即預約

    應用·解決方案薄膜、材料、半導體、先端技術(shù)、醫療、環(huán)境

    高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長(cháng)
    高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長(cháng)
    【MBE(分子束外延)用氧氣源適用例】

    ·利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質(zhì)的金屬氧化物薄膜。

    · 利用純臭氧作為氧氣源的優(yōu)越性得到國際認知。

    · 東京大學(xué)川崎研究室提供

    In-situ洗凈
    In-situ洗凈
    【EUV光刻裝置后工程的In-situ洗凈】

    · 可以In-situ即時(shí)清洗低壓和高反應性電極部

    · 在沒(méi)有生成氧化物的同時(shí)去除污染(碳污染),保持光束反射率

    · 100%濃度純臭氧不含NOx和H?O,不會(huì )對Mask,Mirror造成損傷

    · 超真空環(huán)境下也能達到100%濃度純臭氧,可以充分分解Out Gas

    碳素纖維的改質(zhì)
    碳素纖維的改質(zhì)
    【改質(zhì)效果】

    · 可以對碳素纖維進(jìn)行內部改質(zhì)

    · 長(cháng)期親水性(1個(gè)月以上)

    · 無(wú)熱或物理?yè)p傷

    薄膜上常溫成膜
    薄膜上常溫成膜
    【高密封性實(shí)例】

    · 通過(guò)OER工藝常溫生成OH活性基,沒(méi)有熱或物理?yè)p傷

    · 不需要真空排氣,大幅度縮短成膜時(shí)間

    · 利用專(zhuān)用噴頭均勻噴射氣體,上游和下游之間沒(méi)有分布差異

    洗凈/去除(灰化)
    洗凈/去除(灰化)
    【半導體制造工程】

    · 室溫下高速度灰化

    · 可以灰化各種半導體光刻膠

    · 在高離子注入后灰化時(shí)不產(chǎn)生光刻膠爆裂

    Meiden · 實(shí)力鑄就信賴(lài)從設備到服務(wù),締造純臭氧時(shí)代

    國際安全標準
    國際安全標準國際安全標準SEMI-S2、UL、CE

    ·符合國際安全標準(SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等)

    ·由第三方認證機關(guān)通過(guò)示蹤氣體實(shí)驗認證具有防止氣體泄露的安全性。

    專(zhuān)利技術(shù)
    專(zhuān)利技術(shù)自有技術(shù)明電舍獨自研

    ·通過(guò)混合高濃度臭氧和乙烯氣體,成功生成高活性OH基。

    ·能夠適當的控制臭氧和乙烯氣體的壓力比,從而增加OH基的生成量。

    專(zhuān)業(yè)臭氧團隊20年臭氧行業(yè)經(jīng)驗
    專(zhuān)業(yè)臭氧團隊20年臭氧行業(yè)經(jīng)驗專(zhuān)業(yè)臭氧團隊20年臭氧行業(yè)經(jīng)驗

    ·從產(chǎn)品設計到調試,我們高技能的員工通過(guò)提供高質(zhì)量,對社會(huì )負責的產(chǎn)品和服務(wù),幫助客戶(hù)解決各種問(wèn)題并實(shí)現他們的夢(mèng)想。

    ·服務(wù)人員中不乏20余年行業(yè)經(jīng)驗,快速獲取客戶(hù)故障反饋需求,減少溝通時(shí)間。

    4S式服務(wù)機制一站式無(wú)憂(yōu)體驗
    4S式服務(wù)機制一站式無(wú)憂(yōu)體驗4S式服務(wù)機制一站式無(wú)憂(yōu)體驗

    ·售前:技術(shù)人員深入了解客戶(hù)需求,科學(xué)規劃產(chǎn)品方案。

    ·售中:免費配送上門(mén),提供產(chǎn)品操作培訓,保證客戶(hù)方掌握操作方法。

    ·售后:建立產(chǎn)品終身檔案制,服務(wù)應急機制,終身培訓指導,免費配置升級,上門(mén)維護。

    客戶(hù)名錄
    Customer Directory客戶(hù)名錄

    我們心目中的“品質(zhì)”,不僅意味著(zhù)產(chǎn)品及服務(wù)的質(zhì)量,還涵蓋了支撐起明電品質(zhì)的“人”與“技術(shù)”。憑借員工的誠摯之心和靈活的應對能力,與全球客戶(hù)建立更加緊密的聯(lián)系。

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    關(guān)于Meiden承擔創(chuàng )造新技術(shù)和價(jià)值的挑戰

    MEIDEN(明電舍)主要生產(chǎn)用于半導體設備使用的超純臭氧發(fā)生器,安全設計、符合國際標準,經(jīng)第三方安全檢測無(wú)泄漏!

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